中新网上海新闻7月22日电（记者 缪璐）在国产光刻胶这条赛道上，上市公司华懋科技（603306.SH）投资布局的光刻胶企业徐州博康已实现了“单体——树脂、光酸——光刻胶”产业链全覆盖。在过去的十余年中，前身为上海博康的徐州博康已完成了中高端半导体光刻胶材料产品的国际化销售，并凭借在光刻胶单体的领先优势，逐步建立起了全面自主可控的光刻胶供应链。

       日前，徐州博康董事长傅志伟接受记者线上采访时表示，光刻胶的制备是高度精细化控制的工艺，公司着力于打通全产业链各个环节，从原材料向上突破半导体光刻胶，目前进展顺利；今年公司重点在于推进客户导入，努力实现公司高端光刻胶产品在12寸晶圆厂客户端的突破与放量。未来公司将联合中科院等科研院所，布置前瞻性、先导性光刻胶材料新分支。

打通光刻胶全产业链 发力高端Arf与Krf光刻胶

        随着晶圆厂掀起扩产潮，光刻胶市场空间有望进一步释放。虽然光刻胶叠加相关配套材料在半导体材料占比不到10%，却起着“四两拨千斤”的作用，直接影响芯片的良率，而单体是光刻胶曝光显影功能的原始载体，就像搭建乐高的积木零件，直接决定着光刻胶的性能，成本占比高达60-80%。

        “单体是从特殊小分子的提纯而来，对杂质洁净度要求是光刻胶的10倍以上。”傅志伟介绍。徐州博康前身上海博康从2005年开始研发单体，并掌握了单体提纯的先进工艺，能够把单体的金属离子杂质含量控制在1ppb以下。通过7年不懈努力，徐州博康于2012年成为了国际光刻胶巨头JSR（日本合成橡胶公司）唯一非日本本土的单体供应商，目前覆盖80%以上的单体品种。

        基于对单体制备工艺的娴熟掌握，徐州博康对光刻胶制备各个环节逐一攻克，承担起国家“02专项”中的“ArF光刻胶单体产品的开发与产业化”的子课题，并得到成功验收。如今公司已开发出数十种高端光刻胶产品系列，包括193nmArF湿法光刻胶、ArF干法光刻胶，248nmKrF正负型光刻胶、KrF厚膜光刻胶、365nmi线光刻胶以及电子束胶等，覆盖IC集成电路制造、IC后端封装、化合物半导体等市场应用领域。

        目前国内用于6英寸晶圆制造的g线、i线光刻胶基本可以满足自给，而用于8英寸、12英寸晶圆的高端KrF、ArF光刻胶则高度依赖进口，这也是徐州博康正在积极布局的方向。傅志伟介绍，光刻胶从单体提纯、树脂提纯到配胶等工艺环节，是个高度精细化控制的过程，环环相扣，“海外厂商通常都是五六个厂商高度分工，环节是互相独立的，之间还有‘know - how’隔断；而博康做的是打通各个环节的‘know-how’。”

        2021年，徐州博康开始在半导体光刻胶领域全面发力，全年光刻胶收入同比增长177%，产品立项44款，其中九成产品针对12寸晶圆厂客户的需求定制开发。其中，应用于通孔工艺的ArF湿法光刻胶，已经能够应用至40nm/28nm工艺节点，是国内第一款国产化的ArF湿法通孔光刻胶，还有4款ArF胶正在客户端进行导入测试；K胶产品中有一款金属剥离负胶，主要针对lift-off工艺，底部倒角可控，博康是目前国内唯一可提供此类KrF产品的公司，还有8款KrF胶正导入测试；同时，公司还自主研发成功了超厚膜光刻胶（10-15um），完成了内部的测试验证。目前公司的研发人员也在迅速扩充，预计到今年底将近200人。

加速产品验证与导入 实现12寸客户0到1的突破

       去年是徐州博康光刻产品技术与工艺不断突破的一年，今年则是博康加速客户端光刻胶产品验证与导入的关键之年。

       “2021年，博康已经实现约2000万元光刻胶销售，主要以KrF光刻胶为主，ArF光刻胶占小部分，今年有把握实现销售上一个大台阶。”傅志伟表示，今年公司的重点在于加速客户端验证和导入，计划每家12寸大厂至少导入3-5个品种，年内实现约30种产品验收以及10类以上品种生产，部分产品实现量产采购，未来三年计划覆盖所有国产半导体光刻胶品种。

        同时，为了保障下游客户的稳定供应，徐州博康新产线逐步投产，并向大厂客户外派驻场光刻胶工程师。资料显示，邳州新工厂规划1100吨光刻材料产能，其中光刻胶的产能有3.5万-4.5万加仑，预计新工厂完全达产后产值20亿元，其中光刻胶单体10-12亿元、光刻胶4-5亿元。

        傅志伟介绍，考虑全产业链布局，光刻胶从建设到投产周期需要2-3年。邳州新厂从2021年下半年开始试产，今年1月份正式拿到正式生产许可，产能持续爬坡。虽然今年新冠疫情反复下，物流原材料运输受阻，新工厂6月产值已经达到5000万元，7月预计7000多万元，预计下半年单月销售将过亿元；保守估计，明年新工厂产值将突破10亿元，整体工厂达到满产状态。

        徐州博康的发展也吸引了产业资本竞相追逐。工商信息显示，去年8月，华为通过旗下投资公司哈勃科技成为徐州博康第四大股东，持股9.8%。据媒体报道，哈勃投资金额达3亿元，系其布局半导体材料领域中最大的一单笔投资。

        光刻胶也是上市公司华懋科技打造的第二增长极。去年，华懋科技通过行使借款转股以及追加投资，合计投资8亿元持有徐州博康26.21%股权；另外，华懋科技子公司与徐州博康等共同成立东阳华芯，规划在浙江省东阳市建设年产8000吨中高端半导体光刻材料工厂，年产值将超20亿元。7月18日，华懋科技董事会已审议通过该联营企业项目。据测算，项目达产后年产品销售收入为21.66亿元（不含增值税），年均净利润为3.41亿元，投资回收期（静态）为6.97年(含建设期)，财务内部税后收益率将达到16.35%。

        从厂区定位来看，东阳工厂产品销售定位以光刻胶、光刻胶树脂及辅助材料为主，应用在逻辑芯片及封装领域；徐州博康邳州新工厂目前产品产能以光刻胶单体、光刻胶、医药中间体为主，主要应用在存储芯片和封装领域，两厂主要产品各有侧重，互相补充。

产能扩张 加速光刻胶国产化进程

        “邳州工厂的产能是不够的，浙江东阳工厂还在设计阶段，目前推进顺利。”傅志伟表示，除了现有工厂要稳扎稳打之外，公司还计划在华北地区、华中地区和华南地区设厂，未来产能将扩大至少五倍，博康将根据扩产规划有针对性的借力资本市场融资，加速推进光刻胶的国产化进程。

       不过，近期二级市场半导体板块降温，估值回调，甚至出现一级二级市场估值倒挂的现象。对此，傅志伟表示半导体行业估值正在“挤泡沫”，一定程度上影响了产业投资信心，但他仍然保持乐观，“当前半导体产业国产化率还处于很低的水平，还是要保持耐心，好在有些产业界的投资人还是比较清醒的。”

       凭借对光刻工艺的掌握，傅志伟也布局了与光刻胶息息相关的设备领域。傅志伟实际控制的另一家公司影速集成，与中科院微电所合作已实现半导体激光直写光刻机、高端PCB用LDI设备等领域的产业化，拥有全球最高产能的双台面激光直接成像设备，系中国唯一能够制造“半导体纳米级制版曝光设备”的企业，并有计划登陆资本市场。

       傅志伟向记者表示，光刻工艺调试需要光刻胶和设备的协同，还可以布局像3D打印等前沿光固化工艺，未来公司还将与中科院等科研院所合作，前瞻性布局光刻胶赛道的新分支。（完）

 

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编辑：缪露